電液伺服閥是電液伺服控制系統(tǒng)中的重要控制元件，在系統(tǒng)中起電液轉換和功率放大作用。具體地說，系統(tǒng)工作時它直接接收系統(tǒng)傳遞來的電信號，并把電信號轉換成具有相應極性的、成比例的、能夠控制電液伺服閥的負載流量或負載壓力的信號，從而使系統(tǒng)輸出較大的液壓功率，用以驅動相應的執(zhí)行機構。電液伺服閥的性能和可靠性將直接影響系統(tǒng)的性能和可靠性，是電液伺服控制系統(tǒng)中引人注目的關鍵元件。

由于系統(tǒng)服務對象和使用環(huán)境各式各樣，相應地為系統(tǒng)服務的電液伺服閥型號、結構、性能也多種多樣。它們有個性，也有共性。本章將對常見電液伺服閥的結構原理、組成、分類及有關特點作簡要介紹。

電液伺服閥組成

電液伺服閥本身是一個閉環(huán)控制系統(tǒng)，一般由下列部分組成：

（1）電－機轉換部分；

（2）機－液轉換和功率放大部分；

（3）反饋部分；

（4）電控器部分。

大部分伺服閥僅由前三部分組成，只有電反饋伺服閥才含有電控器部分。

電－機轉換部分

電－機轉換部分的工作原理是把輸入電信號的電能通過特定設計的元件轉換成機械運動的機械能，由此機械能進而驅動液壓放大器的控制元件，使之轉換成液壓能。將電能轉換為機械能的元件，人們通常稱為力矩馬達（輸出為轉角）或力馬達（輸出為位移）。力矩馬達和力馬達有動鐵式和動圈式兩種結構。常用的典型結構示于圖1.1中。

圖1.1（a）為永磁橋式動鐵式力矩馬達。它結構緊湊體積小，固有頻率高；但是輸出轉角線性范圍窄；適用于驅動噴嘴擋板液壓放大器的擋板，射流管液壓放大器的射流管或偏轉射流管的偏轉板。

圖1.1（b）為高能永磁動鐵式直線力馬達。它體積大，加工工藝性好；驅動力大、行程較大；固有頻率較低，約≤300Hz，適用于直接驅動功率級滑閥。

圖1.1（c）為永磁動圈式力馬達，它又有內磁型和外磁型兩種結構形式。圖1.1（d）為激磁動圈式力馬達。它們的共同特點是體積大、加工工藝性好；但是同樣的體積下輸出力??；機械支撐彈簧的剛度通常不是很大，在同樣的慣性下，動圈組件固有頻率低；為提高固有頻率，可增加支撐剛度及激磁和控制線圈功率，但尺寸大，功耗大。此型力馬達的磁環(huán)小；線性范圍寬，輸出位移大；適用于直接驅動滑閥液壓放大器的閥芯運動。